第386章 45纳米光刻机

  周厂长想了想，又看了看王研究员。“两周。重新设计冷却水道，加工零件，安装调试。”

  何雨柱点点头。“改。改完了再试。”

  第七次试机安排在两周后的一个下午。

  何雨柱又去了上海。车间里站满了人，上海无线电厂的技术员、中科院微电子所的研究员、钱致远材料所派来的年轻人，把无尘车间挤得满满当当。空调开得很足，但何雨柱还是觉得闷。他站在人群后头，能看见那台机器上贴著的“45nm实验样机”標籤，红字已经彻底模糊了。

  周厂长站在操作台前头，手放在启动按钮上，没按。他回头看了何雨柱一眼，又转回去，盯著屏幕上那几行还在跳动的温度数据。等了十几秒，温度稳住了。

  “各处温度正常，正负零点五度。”操作员报数。

  周厂长深吸一口气，按下按钮。

  机器启动了。光源亮起来，刺得人睁不开眼。镜头旋转，工件台移动，硅片在曝光灯下慢慢移动。车间里很安静，只有机器嗡嗡响。何雨柱盯著仪錶盘上的数字，压力、温度、真空度，都在正常范围。但他注意到周厂长的手一直没离开那个红色的紧急停止按钮，手指搁在上头，没按下去。

  三十分钟。四十分钟。五十分钟。

  机器停了。

  技术员把硅片取出来，送到显微镜下。王研究员凑过去，看了很久，一动不动。车间里没人说话，有人咽了口唾沫，声音很响。

  周厂长忍不住了。“老王？”

  王研究员没回头，又看了十几秒，才直起腰。他把老花镜摘下来，没说话，先呼出一口气。

  “线宽，四十五纳米，正负零点五。均匀性，偏差百分之三。”

  他顿了顿，把老花镜重新戴上，又看了一眼显微镜，才补了一句。