第240章 14nm全面量產倒计时
读一本书，过一段人生。
  赵建国盯著监控屏幕上跳动的数据，眼皮沉重得像灌了铅。他已经连续四十八小时没离开厂房，胡茬在下巴上冒出青灰色，深蓝色工装的领口被汗水浸出一道深色痕跡。
  屏幕上显示的是2號光刻机的实时数据。这台从荷兰进口的深紫外光刻机是產线的核心设备，价值一点二亿美元，占据了整条生產线成本的近四分之一。过去七十二小时，它一直处於异常状態，晶圆的对准精度在持续缓慢漂移，最严重时偏移达到了15纳米，超过了工艺允许的8纳米上限。
  “还是找不出原因吗？”陈醒走进控制室，手里端著两杯咖啡，將其中一杯递给赵建国。
  赵建国接过咖啡猛灌一口，苦涩的液体让他精神稍微一振：“设备厂商的远程支持团队排查了四个小时，说是环境振动超標。但我们测了厂房的地基振动，数据完全在允许范围內。”
  他调出振动监测记录：“您看，过去一周，厂房最大振动幅度只有0.8微米，远低於设备要求的2微米上限。而且其他三台光刻机都运行正常，只有这台2號机出问题。”
  陈醒仔细查看数据。確实如赵建国所说，振动监测曲线平稳得近乎一条直线。厂房在设计时就考虑了防振要求，地基採用了三层减震结构，能够隔绝外部交通和施工带来的微幅振动。
  “会不会是设备本身的问题？”陈醒问。
  “设备厂商不承认。”赵建国苦笑，“他们说如果设备有问题，不可能只有对准精度漂移这一个症状，其他参数都应该异常。但我们的数据是，这台机器的曝光能量稳定性、聚焦精度、扫描同步性都完全正常，只有对准在缓慢漂移。”
  陈醒沉思片刻：“让孙明过来一趟。”
  十分钟后，孙明小跑著进了控制室，手里还拿著一个平板电脑，屏幕上显示著复杂的电路图。
  “陈总，您找我？我正和时钟团队调试量產测试程序……”
  “先放一放。”陈醒打断他，“2號光刻机的对准漂移问题，我想听听你的看法。”
  孙明愣了一下，显然没想到会问他这个问题。他是电路设计专家，不是设备工程师。但他还是走到监控屏前，仔细查看数据曲线。
  看了一分多钟，孙明突然问：“对准系统的控制环路参数能调出来吗？”
  赵建国操作了几下，调出另一个界面。屏幕上显示著对准伺服系统的控制参数：比例增益、积分时间、微分係数……