第223章 林薇的「空气流场重建法」

  张京京站在全息投影前，屏幕上的数据曲线坦率得近乎残酷：横轴是过去二十一天的时间，纵轴是每日流片良率。那条浅蓝色的线在37.5%到38.2%之间微弱波动，像垂死病人的心电图，没有任何向上的趋势。

  “三周时间，投入一亿零五百万，良率提升幅度在统计误差范围內。”他按下遥控器，切换到成本分析页面，“按照当前爬坡速度，一百零七天后，良率预计达到42.8%，远低於75%的成本线。这意味著……”

  “意味著项目失败。”董事会一位资深董事打断，声音低沉，“意味著我们投入上百亿的14nm自主化进程可能夭折，意味著未来科技在高端晶片领域將失去竞爭力，也意味著……”他顿了顿，“国家的整个战略布局会出现巨大缺口。”

  没人说话。窗外的阳光很好，但会议室里冷得像冰窖。

  张京京深吸一口气：“技术团队的分析认为，核心瓶颈在於洁净室环境。我们正在用28nm时代的设计理念和监测手段，来解决14nm节点的污染控制问题。两者的精度要求相差两个数量级，就像用渔网去捞细菌，理论上可能偶然捞到几个，但不可能系统性地解决问题。”

  “解决方案呢？”另一位董事问。

  “有三种路径。”张京京调出下一页，“第一，继续优化现有洁净室，但进展缓慢，时间不確定；第二，彻底改造甚至重建洁净室，需要至少六个月，时间不允许；第三……”

  他看向会议室角落，林薇站起身。

  “第三条路，是用数位技术弥补物理设计的不足。”林薇的声音清晰平静，“我们称之为『空气流场重建法』。”

  全息投影切换到一个复杂的模型：整个洁净室的三维结构，数万个彩色箭头代表气流方向，数十万个闪烁的光点代表粒子。

  “传统洁净室管理是『黑箱模式』：我们在入口和出口监测粒子浓度，只要出口达標，就认为內部是乾净的。”林薇放大模型，“但14nm节点，我们需要知道黑箱內部的每一个细节：粒子从哪里產生？沿著什么路径运动？在哪里聚集？会在什么时候、以什么方式落到晶圆上？”

  她调出过去三周的高精度监测数据：“我们从中科院借来的粒子图像测速系统，已经採集了超过五百小时的连续数据。分析发现，洁净室內存在明显的『粒子走廊』和『驻留区』。比如这里——”

  模型高亮出一个区域：位於两排设备之间的通道。

  “这是机械臂运输晶圆的主要路径。监测数据显示，每天上午九点到十一点，下午两点到四点，这个区域的0.05-0.1微米粒子浓度会激增五到八倍。原因有二：设备运行导致局部升温，热扰动改变了气流；人员交班时的走动產生涡流。”

  “能预测吗？”陈醒第一次开口。