第204章 林薇评估14nm量產风险

  约翰·陈略显意外：“这些数据很庞杂，而且涉及我们的工艺细节……”

  “我们可以签署附加保密协议。”林薇语气平静但坚定，“未来科技不是来寻求保姆式服务的合作伙伴，我们是来共同解决问题的。如果我们连问题到底出在哪里都不清楚，又怎么能找到解决方案？”

  她的目光锐利起来：“或者，宝积电已经认定这个问题无解，打算建议我们放弃chiplet路线，回归传统单晶片设计？”

  这是直接而尖锐的问题。约翰·陈脸上的职业笑容终於出现了一丝裂痕。他沉默了几秒，然后按下內线电话：“把tc-224项目所有原始数据，包括失效分析报告，送到十七楼会议室。对，全部。”

  等待数据送达的间隙，林薇的手机震动。是陈醒从华夏芯谷发来的加密信息：

  “euv光源已恢復，採用『带电作业』方案。稳定度98.0%，长稳测试重启。章晴发现13.52nm异常光谱峰，持续0.2秒，可能影响曝光精度。你那边情况？”

  林薇快速回覆：“宝积电確认热失配问题，建议降频或等18个月新材料。我要求查看原始数据，寻找其他可能。另：约翰·陈似有保留。”

  发送完毕，她抬头看向窗外。阳光下的晶圆厂寧静而有序，但林薇能感觉到，这寧静之下，是暗流涌动的技术与商业博弈。

  十五分钟后，一名技术助理推著手推车进入会议室，车上放著三台加密移动硬碟。

  “这是tc-224项目的全部数据，从材料选择到最终失效分析，共2.7tb。”技术助理介绍道，“包括128个样品的完整工艺记录，以及其中38个失效样品的断层扫描数据。”

  林薇没有浪费时间客气。她连接自己的可携式工作站，启动专用的数据分析软体。屏幕上，复杂的工艺参数矩阵、材料特性曲线、应力分布云图如瀑布般展开。

  约翰·陈在一旁观察，起初只是出於礼貌和监视，但很快，他的表情变得惊讶，林薇操作软体的速度和熟练程度，完全不亚於宝积电最资深的工艺工程师。她能在几十个参数中快速定位关键变量，能在三维应力分布图中一眼看出异常区域，能在看似隨机的失效模式中找到统计规律。

  “等等。”林薇突然暂停了数据滚动，“样品tc-224-47，沉积时的腔体压力比其他样品低5%，但它的中介层完整度却是最好的。为什么？”

  约翰·陈凑近屏幕，调出该样品的工艺日誌：“这个样品……是在设备维护后第一批运行的。工程师可能没有完全稳定工艺腔体就开始沉积，所以压力偏低。”

  “但结果却更好。”林薇放大氮化铝层的微观结构图像，“看这里的柱状晶生长方向，低压力下，晶粒的取向更隨机，这可能会释放部分內应力。有没有可能，我们不是在『降低』应力，而是在『管理』应力？”