第155章 林薇发现硅片清洗新工艺

  “没错！”

  林薇讚许地点头，

  “我怀疑，我们传统的、追求『绝对洁净』的强力清洗方案，在去除污染的同时，可能也对细微的图形结构造成了不可见的损伤或改变，这种损伤在后续苛刻的刻蚀和离子注入过程中会被放大。而c-37，或许找到了一种『选择性清洗』或者『界面修饰』的路径。”

  她立刻下达指令：

  “孙博士，你带领团队，立刻围绕c-37配方的基础成分，设计一个全新的、系统性的实验矩阵。不要只看颗粒和宏观良率，要把重点放在不同图形尺寸、不同图形密度下的线宽变化、边缘粗糙度、以及界面態密度这些微观参数上。老周，你协调前后道工艺，確保测试晶圆能贯穿整个製程，我们需要最终的电性参数来验证。”

  一场静悄悄的、但目標明確的“微雕”战役，在清洗实验室里打响了。孙浩团队按照林薇指引的新方向，调整了数十种配方参数：ph值的微调、添加剂浓度的精確控制、清洗时间的分秒级变化、乃至清洗时兆声波的能量和频率……

  每一个变量都被精细操控，试图捕捉到那个能完美“呵护”图形结构的魔法组合。

  林薇几乎每天都泡在实验室里。她穿著洁净服，和孙浩等人一起分析数据，討论机理。

  有时她会抱著已经会咿呀学语的小芯，在实验室外的监控室里，透过玻璃墙看著里面的忙碌。

  小芯挥舞著小手，对著里面闪烁的指示灯和穿著“奇怪”衣服的叔叔阿姨咯咯直笑。这一刻，科技攻坚与生命成长，以一种奇妙的方式交织在一起。

  过程並非一帆风顺。大部分实验配方效果甚至不如传统方案，有些还引入了新的问题。

  质疑的声音偶尔也会出现：在光刻机这种“心臟”级装备被卡脖子的时候，投入如此多精力去研究“洗脸”的学问，是否值得？

  但林薇顶住了压力。她坚信，在极限工艺下，任何一个环节的微小优化，都可能带来系统性的突破。

  她从星流屏幕的精细化製造经验中汲取灵感，认为晶片製造本质上也是一种极致的“微纳结构”製造，对界面和表面的控制至关重要。

  转机发生在一个周五的深夜。孙浩盯著最新一轮实验的数据屏幕，眼睛因为长时间聚焦而布满血丝，但瞳孔中却闪烁著难以置信的光芒。